法國Phasics SID4-UV-HR技術(shù)指導(dǎo)
法國Phasics SID4-UV-HR
產(chǎn)品介紹：
基于Phasics的專利技術(shù)，SID4UV-HR波前傳感器在190nm至400nm的紫外光譜中提供無與倫比的高分辨率（355x280個測量點）和非常高的靈敏度（1nmRMS）。因此，SID4UV-HR完美適用于光學(xué)元件表征（用于光刻、半導(dǎo)體……）和表面檢測（透鏡和晶圓……）。
產(chǎn)品特點：
靈敏度低至190nm
高靈敏度–1nmRMS
超高分辨率（355x280采樣）
產(chǎn)品參數(shù)：
波長范圍：190-400納米
孔徑尺寸：13.8x10.88平方毫米
空間分辨率：38.88微米
相位和強度采樣：355×280
分辨率（相位）：1納米有效值
準(zhǔn)確度（絕對）：10納米有效值
獲取率：30幀/秒
實時處理頻率*：>3fps（全分辨率）*
界面：相機鏈接
尺寸(WxHxL)：51x51.1x76毫米³
重量：~300克
法國Phasics SID4-HR
產(chǎn)品介紹：
SID4-HR為最苛刻的波前測量應(yīng)用帶來了超高相位采樣(400x300)和高動態(tài)范圍(500µmPV)。其大孔徑和極高的波前靈敏度使其非常適合直接測量大發(fā)散光束而無需中繼光學(xué)器件。
產(chǎn)品特點：
超高分辨率（400x300相位像素）
大分析瞳孔：11.8x8.9mm²
直接測量高達0.8的高NA光束
產(chǎn)品參數(shù)：
波長范圍：400-1100 納米
孔徑尺寸：11.84 x 8.88 平方毫米
空間分辨率：29.6 微米
相位和強度采樣：400×300
分辨率（相位）：2 納米有效值
準(zhǔn)確性：15 納米有效值
獲取率：10 幀/秒
實時處理頻率*：3 fps（全分辨率）
界面：千兆以太網(wǎng)
尺寸 (WxHxL)：54 x 46 x 79 毫米³
重量：~250 克
法國Phasics Kaleo 套件
產(chǎn)品介紹：
KaleoKit是用于光學(xué)鑒定的模塊化系統(tǒng)。它結(jié)合了廣泛的兼容模塊，讓您可以創(chuàng)建一個經(jīng)濟高效、緊湊且易于使用的系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以適應(yīng)各種測量配置，并在所有開發(fā)階段確保您的樣品質(zhì)量。一次采集即可訪問樣品的所有特征：TWE、RWE、波前像差、MTF、PSF等等！
產(chǎn)品特點：
通用性：從紫外到紅外，模塊兼容獨立使用
強大的獨特技術(shù)：高分辨率、大動態(tài)范圍、納米級靈敏度
易于使用：緊湊且易于對齊
產(chǎn)品參數(shù)：
1-選擇您的波前傳感器：SID4UV/SID4/SID4-HR/SID4-SWIR/SID4SWIR-HR/SID4DWIR
2-選擇您的R-Cube波長(nm)*：365/405/530/625/740/780/810/850/940/1050/1550/3900
3.1-使用聚焦系統(tǒng)(F#)塑造光束*：0.6/1/1.6/2.5/5/10
3.2-使用擴束器塑造光束–出瞳直徑(mm)*：8/15/30/60/130
+參考鏡：平面或球體
法國Phasics SID4-UHR
產(chǎn)品介紹：
SID4-UHR超高分辨率波前傳感器適用于光學(xué)計量需求。它結(jié)合了SID4的易于實施與高采樣和分辨率。它的大孔徑允許對整個被測樣品進行實時波前測量。SID4-UHR針對表面檢測（粗糙度、高頻缺陷檢測...）和光學(xué)元件表征（透鏡、物鏡、非球面和自由曲面光學(xué)...）進行了優(yōu)化。它采用高性能相機構(gòu)建，為激光表征提供了令人難以置信的精度。具有如此緊湊性的512x512（選件666x666）相位圖采樣使SID4-UHR成為研究和工業(yè)領(lǐng)域的光學(xué)和激光計量的獨特工具。
產(chǎn)品特點：
非常高分辨率
大分析瞳孔：15.16x15.16mm²
消色差
產(chǎn)品參數(shù)：
波長范圍：400-1100 納米
孔徑尺寸：15.16 x 15.16 平方毫米
空間分辨率：29.6 µm（選項 22.2 µm）
相位和強度采樣：512 x 512（選項 666 x 666）
分辨率（相位）：2 納米有效值
準(zhǔn)確性：15 納米有效值
獲取率：8 幀/秒
實時處理頻率*：1 fps（全分辨率）
界面：千兆以太網(wǎng)
尺寸 (WxHxL)：60 x 60 x 70 毫米³
重量：~450 克
法國Phasics SID4-UV-HR技術(shù)指導(dǎo)
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