IBS 光學高速干涉儀ARINNA AR2/AR5/AR20/AR50
ARINNA能夠測量離散的步高和表面質量，垂直分辨率為 <2nm。巨型像素攝像頭可在 1 秒內捕獲表面掃描。可用于在線缺陷檢測和特征化、光學表面和結構測量、3D表面拓撲測量、MEMS/NEMS 檢測等。
ARINNA 是一種高速干涉儀，它結合了納米級表面測量的優點、堅固性和小巧的占地面積，使其能夠在您需要的地方進行在線測量。雖然干涉儀帶來了速度、精度和無損測量的優勢，但階梯結構和嘈雜的環境通常是它們的局限性。ARINNA 并非如此。
ARINNA 采用的波長掃描技術避免了在測量頭中進行機械掃描的需要，正如一些干涉測量系統所采用的那樣。這克服了對測量速度和系統集成（例如頭部 360 度定向的能力）的相關限制。對于在線使用，ARINNA 的設計中集成了獲得專利的振動補償技術。這種技術避免了對大型和/或復雜的隔離系統的需要；有時是高精度光學測量系統在現場應用的限制因素。
AR2
李銀
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Z 范圍 （μm） 96
每次捕獲 FOV （毫米） 2，8 x 2，8。
Z 分辨率 （μm） 0,002
結果時間（秒） 1，5 （0，9 測量 +0，6 計算）
工作距離（毫米） 34
分辨率為 15kHz 有色 0，007%，有色 0，009%
零/偏移調整 是的
典型的熱漂移 0，01% F.S.*/C
LED 范圍指示器 是的
其他功能 帶寬：100 赫茲、1 kHz、10 kHz、15 kHz（用戶可選）
AR5
Z 范圍 （μm） 14
每次捕獲 FOV （毫米） 1，1 x 1，1
Z 分辨率 （μm） 0,002
結果時間（秒） 1,5
每次捕獲 FOV （毫米） 0，55 x 0，55
Z 分辨率 （μm） 0,002
工作距離（毫米） 34
分辨率為 15kHz 有色 0，007%，有色 0，009%
零/偏移調整 是的
典型的熱漂移 0，01% F.S.*/C
LED 范圍指示器 是的
其他功能 帶寬：250 赫茲、1 kHz、10 kHz、15 kHz（用戶可選）
AR10
Z 范圍 （μm） 2,4
結果時間（秒） 1,5
工作距離（毫米） 33,5
分辨率為 15kHz 有色 0，009%，有色 0，011%
零/偏移調整 是的
典型的熱漂移 0，04% F.S.*/C
LED 范圍指示器 是的
其他功能 兩個環境范圍 - 標準到 125C，高到 200C
AR20
Z 范圍 （μm） 1,6
每次捕獲 FOV （毫米） 0，28 x 0，28
Z 分辨率 （μm） 0,002
結果時間（秒） 1,5
工作距離（毫米） 20
分辨率為 15kHz 100納米@1kHz
零/偏移調整 不
典型的熱漂移 0，04% F.S.*/C
LED 范圍指示器 不
其他功能 兩個環境范圍 - 標準到 125C，高到 200C
AR50
Z 范圍 （μm） 0,9
每次捕獲 FOV （毫米） 0，11 x 0，11
Z 分辨率 （μm） 0,002
結果時間（秒） 1,5
工作距離（毫米）
分辨率為 15kHz 有色 0，02%，有色 0，02%
零/偏移調整 是的
典型的熱漂移 0，04% F.S.*/C
LED 范圍指示器 是的
IBS 光學高速干涉儀ARINNA AR2/AR5/AR20/AR50
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