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E-509 信號調節器/壓電伺服模塊

用于多達3軸的伺服控制器模塊，E-500壓電控制器系統

§ 用于帶應變片傳感器和電容式傳感器的 壓電陶瓷定位系統的位置控制

§ 改善線性誤差

§ 去除漂移和滯后

§ 陷波濾波器可實現更高帶寬

§ 增加壓電剛性

§ ILS電路優化電容式傳感器的線性度

帶傳感器評估電控的位置控制模塊

E-509是一個帶傳感器評估電控的位置控制模塊，用于帶集成位置傳感器的納米定位系統。它可自動消除電壓控制壓電操作過程中的漂移或滯后，當負載改變、壓電電壓立即被調整時，它可補償壓電陶瓷促動器的位置變化。

納米級精度壓電陶瓷定位

E-509伺服控制器模塊的比例積分位置控制經過了優化，用于壓電陶瓷操作。比例和積分項以及控制帶寬可單獨調整。集成式陷波濾波器（各軸均可設置）可提高穩定性，且可實現更接近壓電陶瓷系統的機械諧振頻率的更寬帶寬操作。因此，根據壓電陶瓷機械部件和傳感器類型，納米級的定位準確性和重復精度均可實現。

用于信號評估的E-509.E03和用作伺服控制器模塊的E-509.E3均可用于PISeca系列的高分辨率電容式單板傳感器。

訂購信息

E-509.C1A

傳感器/伺服控制器模塊, 電容傳感器, 1 axis

E-509.C2A

傳感器/伺服控制器模塊, 電容傳感器, 2 axes

E-509.C3A

傳感器/伺服控制器模塊, 電容傳感器, 3 axes

E-509.S1

傳感器/伺服控制器模塊, 應變片傳感器, 1 axis

 E-509.S3

傳感器/伺服控制器模塊, 應變片傳感器, 3 通道

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