P-541.2 • P-542.2 XY壓電工作臺

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大口徑低外形XY納米定位系

§ 低外形、易于集成：16.5毫米

§ 孔徑為80 毫米 × 80 毫米

§ 行程達200 微米 × 200 微米

§ 并聯運動實現更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ 高動態直接驅動版本

§ 傳感器技術：價格實惠的應變片傳感器 或可實現更高性能的電容式傳感器

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 可與顯微鏡平臺組合實現更長行程

應用領域

·         掃描顯微鏡

·         高吞吐量顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測量

·         測量技術

·         生物技術

·         顯微操縱

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測量帶來最大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯運動實現高動態多軸操作

在并聯多軸系統中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有最小的質量慣性和相同的設計，可實現快速、動態和精密的運動。

訂購信息

P-541.2DD

帶大孔徑的XY向納米定位系統，高動態直接驅動，45 微米 × 45微米，并聯運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CD

帶大孔徑的XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，并聯運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CL

帶大孔徑的XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，并聯運動，電容傳感器，LEMO連接器

P-542.2CD

帶大孔徑的XY向納米定位系統，200 微米 × 200微米，并聯運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-542.2CL

帶大孔徑的XY向納米定位系統，200 微米 × 200微米，并聯運動，電容傳感器，LEMO連接器

P-541.2SL

帶大孔徑的XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，應變片傳感器，LEMO連接器

P-542.2SL

帶大孔徑的XY向納米定位系統，200 微米 × 200微米，應變片傳感器，LEMO連接器

P-541.20L

帶大孔徑的XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-542.20L

帶大孔徑的XY向納米定位系統，200 微米 × 200微米，不帶傳感器，LEMO連接器

配件

P-542.PD1

用于P-54x納米定位系統的培養皿支架，35 毫米

P-542.SH1

用于P-54x納米定位系統的顯微鏡載片支架

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