P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電陶瓷線性精密定位器

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多種行程范圍和軸配置

行程為50至1800微米

線性誤差 0.02 %

真空兼容版本達10^-9百帕

分辨率達0.1納米

X、XY、Z版本；可提供XYZ組合

應用領域

·         干涉測量

·         顯微鏡

·         納米定位

·         生物技術

·         測試應用

·         半導體技術

·         光子

·         光纖定位

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測量帶來最大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可實現極低的排氣率。

訂購信息

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-620.1CD

精密PIHera 線性納米定位系統，50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-621.1CD

精密PIHera 線性納米定位系統，100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-622.1CD

精密PIHera 線性納米定位系統，250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 P-625.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統，500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-628.1CD

精密PIHera 線性納米定位系統，800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-629.1CD

精密PIHera 線性納米定位系統，1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

帶LEMO連接器的版本

P-620.1CL

精密PIHera 線性納米定位系統，50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-621.1CL

精密PIHera 線性納米定位系統，100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-622.1CL

精密PIHera 線性納米定位系統，250微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-625.1CL

精密PIHera 線性納米定位系統，500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-628.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統，800微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-629.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統，1500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

不帶位置傳感器的線性定位器

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精密PIHera 線性納米定位系統，60微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-621.10L

精密PIHera 線性納米定位系統，120微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-622.10L

精密PIHera 線性納米定位系統，300微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-625.10L

精密PIHera 線性納米定位系統，600微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-628.10L

精密PIHera 線性納米定位系統，950微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-629.10L

精密PIHera 線性納米定位系統，1800微米，LEMO連接器，不帶傳感器

線性定位器，真空兼容達10-9百帕

P-620.1UD

精密PIHera 線性納米定位系統，50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

P-621.1UD

精密PIHera 線性納米定位系統，100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

P-622.1UD

精密PIHera 線性納米定位系統，250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

P-625.1UD

精密PIHera 線性納米定位系統，500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

P-628.1UD

精密PIHera 線性納米定位系統，800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

P-629.1UD

精密PIHera 線性納米定位系統，1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

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