ADL 離子源電源

對于離子源（Kaufmann 和 ECR）的作，可以使用特殊電源。根據(jù)要求，這些裝置還可以配備其他輸出電壓或輸出功率。所有電源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232。

ADL突出特性：

在離子束和等離子體工藝技術(shù)中的廣泛應(yīng)用

ADL蝕刻、濺射等等

ADL創(chuàng)新應(yīng)用，例如微電子、光學和傳感器

ADL  GG 03加速器技術(shù)參數(shù)：

ADL輸出功率300W

輸出電壓最大1000 V

輸出電流300mA

功率消耗500 VA

ADL指示

電流和電壓的31/2位數(shù)字顯示

ADL控制

電流或電壓控制

ADL操作模式

通過前面板或外部控制接口手動

ADL設(shè)定值  ：0...100%的額定值電流和電壓

輸出精度

電流或電壓的標稱值的+/-1%

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