ADL 離子源電源

對于離子源（Kaufmann 和 ECR）的作，可以使用特殊電源。根據(jù)要求，這些裝置還可以配備其他輸出電壓或輸出功率。所有電源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232/484 接口。

ADL 突出

在離子束和等離子體工藝技術(shù)中的廣泛應(yīng)用

蝕刻、濺射等等

ADL 創(chuàng)新創(chuàng)新應(yīng)用，例如微電子、光學(xué)和傳感器

ADL GG 03.1加速器   

ADL輸出功率30W

ADL輸出電壓最大1000 V

ADL輸出電流300\mA

ADL功率消耗100 VA
 

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