波長（nm）248

最大重復頻率（Hz）1000

穩定脈沖能量（mJ）10

穩定脈沖功率（W）10.0

能量穩定性（西格瑪，%）2 

光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3

光束發散度（FWHM，V x H mrad）2x1 

脈沖持續時間（FWHM）（ns）5-15

重量kg 75

冷卻 空氣

電源 230V, 50/60Hz, 2000W 最大

尺寸 (L x W x H) mm 560 x 315 x 445

Mlase MLI-1000KrF準分子激光主要功能

剛性設計

電暈預電離

固態電路

卡套管技術

能量監測器

緊湊型準分子激光，單相

?

Mlase MLI-1000KrF準分子激光優勢

高可靠性

均勻梁剖面

即時可用，無老化

全金屬密封管

數十億脈沖的延長壽命

能量穩定

易于操作，易于集成

Mlase 準分子激光型號

Mlase MLI-200 Arf

Mlase MLI-500 Arf

Mlase MLI-1000 Arf

Mlase MLI-200 KrF

Mlase MLI-500 KrF

Mlase MLI-1000 KrF

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