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Piezoconcept 雙軸納米定位器LFHS2

    

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品牌piezoconcept 有效期至長期有效 最后更新2023-03-01 17:32
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Piezoconcept 雙軸納米定位器LFHS2

  
王春風
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Piezoconcept 雙軸納米定位器LFHS2

 

 

 

品牌簡介:

雙軸超高速納米定位器,具有66毫米x 66mm毫米的大孔徑。
可與集成Z軸(50米行程范圍)結合使用。

 

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?產品簡介

LFHS2是一款2軸超高速納米精密定位器,沿X和Y方向的行程范圍可達75米,具有66毫米x 66mm毫米的大孔徑,兩軸的諧振頻率均高于2kHz。如果需要,它還可以與集成的Z軸(50米行程范圍)一起使用(參見3軸型號LFHS3).

這種壓電載物臺可以與粗定位微載物臺結合使用(參見我們的混合系統).

這種納米定位器是我們高速產品線的一部分(高功率控制器可用)。利用高功率控制器,高速掃描和短于2毫秒的階躍響應時間是可能的。

 

產品參數:

 

產品參數:

運動范圍(um):30

分辨率(nm):0.03

噪聲下限(nm典型值)0.003

重復性(nm):0.06

線性化(典型值共振頻率(Hz):0.02%

線性化:0.02%

剛度(N/um)0.6

傳感器尺寸Wx L x H(mm):120.8x120.7x28.5

材料電纜長度(m):2

控制器最大負載:1

水平使用垂直使用:0.5

諧振頻率XY(Hz):3000/2000

剛度XY(N/um):4/3

 

產品圖紙:

 

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Piezoconcept 雙軸納米定位器LFHS2

 

 

 
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