德國(guó)PI 傾斜平臺(tái)附帶空氣軸承A-523

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
A-523 是一款帶直接驅(qū)動(dòng)的空氣軸承 Z 傾斜/傾斜平臺(tái)。 該平臺(tái)設(shè)計(jì)為平行運(yùn)動(dòng)多軸系統(tǒng)，可用于 Z 軸和傾斜/傾斜運(yùn)動(dòng)。 該平臺(tái)以微型格式提供超精密。 非接觸式組件的組合形成了一個(gè)無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可提供頂級(jí)性能、質(zhì)量和使用壽命。 當(dāng) A-523 與 A-81x 或 A-82x 系列控制器一起訂購(gòu)時(shí)，PI 在應(yīng)用了伺服調(diào)諧優(yōu)化和施加負(fù)載的情況下執(zhí)行 Z 平臺(tái)的配置和布線。 您會(huì)收到一個(gè)完整的、即用型的定位系統(tǒng)。



產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1.      Z 方向的行程范圍為 ±2.5 mm
2.      以 θX、θY 為單位的旋轉(zhuǎn)范圍至 ±1°
3.      負(fù)載能力達(dá) 8 公斤
4.      平臺(tái)直徑 250 毫米
5.      總高度 60 毫米

產(chǎn)品參數(shù)：

活動(dòng)軸 Z θX θY
行程 Z 5 mm
旋轉(zhuǎn)范圍 θX 2°
θY 中的旋轉(zhuǎn)范圍 1.6 °
Z 方向的加速度，空載 10 m/s² max.
Z 方向的最大速度，空載 200 mm/s
偏航（θX 方向的旋轉(zhuǎn)串?dāng)_與 Z 方向的運(yùn)動(dòng)）± 25 µrad typ.
俯仰（θY 方向的旋轉(zhuǎn)串?dāng)_，Z 方向的運(yùn)動(dòng)）± 25 µrad
Z ± 0.25 µm 典型值的雙向重復(fù)性。
θX ± 8 µrad 典型值的雙向重復(fù)性。
θY ± 8 µrad 典型值的雙向重復(fù)性。
Z 軸定位精度，校準(zhǔn) ± 0.5 µm typ.
以 θX 為單位的定位精度，未校準(zhǔn) ± 15 µrad typ.
θY 中的定位精度，未校準(zhǔn) ± 15 µrad typ.
Z 0.01 µm 典型值的最小增量運(yùn)動(dòng)。
θX 中的最小增量運(yùn)動(dòng) 0.06 µrad typ.
θY 中的最小增量運(yùn)動(dòng) 0.06 µrad typ.
集成傳感器 絕對(duì)線性編碼器
傳感器信號(hào) BiSS-C
傳感器分辨率 1nm
標(biāo)稱電壓 24V
峰值電壓 60 V
標(biāo)稱電流，RMS 1.4 A
峰值電流，RMS 2.8 A
力常數(shù) 5.9 N/A
電阻相 - 5.2 Ω
電感相相 1 mH
反電 4.2 V s/m max.
極距 N-N 19.66 mm

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德國(guó)PI 傾斜平臺(tái)附帶空氣軸承A-523