ADL主要系列產品：

1、直流電源 GS 系列 0.5 - 3.0kW GS 05 - GS 30

緊湊型電源是為生產工廠和實驗室中的磁控管開發的。簡單和安全的操作使這些電源非常靈活，適用于許多過程。電弧處理會根據不同的工藝參數自動調整，因此無需編程。這些裝置專為安裝在 19" 機架中而設計。

 

輸出功率 0.5 - 3.0kW

風冷

½ 19″–外殼，3 HU

可互換的接口

電壓、電流、功率顯示

通過前面板手動操作

自動電弧處理

 

2、直流電源 GS 系列 6.0 - 15kW GS 60 - GS 150

GS 60 – GS 150 系列風冷直流電源提供三種不同的版本：有源前面板、無源前面板和狀態 LED。電源可以在沒有占空比限制的情況下以全額定功率運行。多個電源的并聯運行是可能的。GS 60 – GS 150 系列與 ADL 的所有電源一樣，具有極快的自動消弧功能。電源的操作既簡單又安全。

 

輸出功率 6.0 - 15kW

風冷

19″–機箱，3 HU

浮動輸出

焦耳模式

自動電弧處理

 

3、直流電源 GSW 系列 10.0 - 30kW GSW 100 - GSW 300

并聯運行時，輸出功率可增加到240kW。由于采用了特殊的電路布置，因此不需要“主從接線”。即使在沒有空調的房間里，高效的水冷也能保證最高的可靠性。電源可通過前面板或接口手動操作。有不同的前面板和接口可用。超快速電弧處理完全自動工作，即使在并行操作中也不需要同步。

 

輸出功率 10 – 30kW

水冷

19″–機箱，3 HU

浮動輸出

并聯運行高達 240 KW

自動電弧處理

 

4、直流電源 GX 系列 5.0 - 15kW GX 50 - GX 150

GX-Sputtering 電源能夠每秒自動消除高達 80.000 個電弧。這種極端的能力與電源的小尺寸相結合，對于 GX 系列來說非常出色且意義重大，該系列還具有集成的陰極鉗位二極管。電源可以在沒有占空比限制的情況下以全額定功率運行。

 

輸出功率 5 - 15 kW

水冷

½ 19″–外殼，3 HU

浮動輸出

焦耳模式

自動電弧處理

 

5、直流濺射電源 HX 150 – HX 300

½ 19” 寬度和 5 HU 的非常緊湊的設計專為沒有機柜的生產工廠而設計。HX 具有安裝法蘭，可以在任何位置集成到或連接到等離子室。顯示器可以旋轉并與電源分離。即使在沒有空調的房間里，高效的水冷也能確保最高的可靠性。為了避免冷凝水，可以通過集成溫度控制連接外部電磁閥。并聯運行時輸出功率可達240kW。特殊的電子設計允許主從操作以及通過 Interface-Combiner 或 Profibus 的并行操作。極快的 Arc-Handling 完全自動工作，因此無需設置參數

 

輸出功率 15kW – 30kW

并聯運行高達240kW

水冷

電磁閥控制

帶集成顆粒攔截器的機柜通風

½ 19”- 外殼，5 HU

法蘭安裝

M8-吊眼用內螺紋

可更換、可旋轉的顯示器

自動電弧處理

 

7、離子源電源

對于離子源（Kaufmann 和 ECR）的操作，可使用特殊電源。根據要求，這些裝置還可以配備其他輸出電壓或輸出功率。所有電源都有一個模擬接口或 Profibus

 

8、脈沖發生器、選件和附件：RD 300、D 300、RC4、AM2、OM5

脈沖發生器 RD 300 與大多數 ADL 電源結合使用諧振開關電路。憑借非凡的效率（30kW 時為 99.5%），該裝置非常緊湊，功耗最大為 150W?，F有設備可以輕松改造，因為脈沖發生器 RD 300 直接與直流電源并聯連接到陰極。發生器以 2kHz 的固定頻率運行。然而，使用外部信號發生器，該頻率可以在 0.2 到 3kHz 之間變化?？梢酝ㄟ^控制線連接多個脈沖發生器 RD 300 以實現自動同步。

 

9、單極脈沖發生器 SD 30、SD 150 和 SD 300

結合 ADL 直流電源，脈沖發生器產生單極脈沖。脈沖發生器以 20kHz 的固定頻率工作。因此，使用外部信號發生器，該頻率可以在 1kHz 至 40kHz 的范圍內變化。脈沖發生器配備有自動消弧裝置。Triplevel 和 Pulse off time 的參數會根據具體過程自動調整。完全不需要用戶編程。對于自動同步，可以通過控制電纜連接多臺發電機。在這種情況下，脈沖發生器會自動切換到外部同步。

 

輸出功率 3 kW、15 kW、30 kW

并聯運行高達 240 kW

自動電弧處理

輸出浮動

自動同步

風冷

非常緊湊的設計

法蘭安裝

 

10、中頻雙極脈沖發生器 SB 300

發生器可用作中頻發生器以產生對稱的交流電流以及雙極脈沖發生器以產生不對稱的方波脈沖。使用特殊的比例功率控制器，雙磁控管的目標壽命可以精確對稱。此外，還可以用不對稱脈沖功率控制兩種不同的目標材料。比率功率控制器通過脈寬調制 (PWM) 自動設置脈沖時間。發生器以 20kHz 的固定頻率工作。發生器具有自動消弧功能。Triplevel 和 Pulse off time 的參數會根據所選過程自動調整。不需要用戶編程。對于自動同步，可以通過控制電纜連接多臺發電機。

 

輸出功率 30kW，交流

主/從或并聯單元組合，最大 240kW

比例功率控制器

自動同步

水冷

非常緊湊的設計

輸出浮動

模塊化系統允許將 HX (DC) 與單極脈沖發生器 (SD) 或雙極脈沖發生器 (SB) 結合使用

緊湊型設計 ½ 19“

帶 PWM 控制的雙極脈沖發生器保證絕對對稱濺射！

出色的超快和全自動電弧管理

工藝重現性：優于1-2%