德國ATL Laser激光器ATLEX-1000-I
張文婧
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德國ATL LASER 型號：ATLEX-1000-I-ArF
氣體介質：ArF
波長：193nm
高壓開關技術：固態(tài)開關
最大脈沖能量：10mJ
最大平均功率：8W
最大重復率：1000Hz
脈沖持續(xù)時間：5–8ns
尺寸：4x6mm
光束發(fā)散：1x2mrad
能量穩(wěn)定性：<3%
尺寸：540x470x370mm
重量：60kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/10A/1phase/50-60Hz
德國ATL LASER 型號：ATLEX-1000-I-KrF
氣體介質：KrF
波長：248nm
高壓開關技術：固態(tài)開關
最大脈沖能量：15mJ
最大平均功率：10W
最大重復率：1000Hz
脈沖持續(xù)時間：5–8ns
尺寸：4x6mm
光束發(fā)散：1x2mrad
能量穩(wěn)定性：<3%
尺寸：540x470x370mm
重量：60kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/10A/1phase/50-60Hz
ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年，并于1994年通過開發(fā)世界上第一臺緊湊型、高重復率、短脈沖準分子激光器在紫外激光技術方面取得了突破。ATL通過幾代產(chǎn)品完善了這一革命性概念，如今，ATLEX產(chǎn)品系列以其獲得專利的預電離和放電技術引領世界。ATL繼續(xù)開發(fā)緊湊型短脈沖準分子激光器，并保持該領域的技術領先地位。
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