2軸和3軸版本（XY和XYθZ型）

§ 行程達200 微米

§ 亞納米級分辨率

 

應用領域

·         計量

·         干涉測量

·         光子學/集成光學

·         平版印刷術

·         納米定位

·         掃描顯微鏡

·         樣本對準

·         微加工

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯位置測量實現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動導向）。即使在動態操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

 

P-517.2CL

精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

 

P-517.2CD

精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

 

P-527.2CL

精密XY向納米定位系統，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

 

P-527.2CD

精密XY向納米定位系統，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

 

P-517.3CL

精密XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-517.3CD

精密XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-527.3CL

精密XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-527.3CD

精密XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-517.RCD

精密XY向/旋轉納米定位系統，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

 

P-527.RCD

精密XY向/旋轉納米定位系統，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

P-561 • P-562 • P-563 PIMars納米定位平臺

用于多達3軸的高精度納米定位系統

 

 

§ 并聯運動實現更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ 行程達300 × 300 × 300微米

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ 優異的掃描平面度

§ 高動態XYZ版本

§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 超高真空版本達10-9百帕

 

描述

應用領域

·         掃描顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測量

·         測量技術

·         生物技術

·         掃描和篩選

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可實現極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯位置測量實現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動導向）。即使在動態操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

P-561.3CD

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-561.3CL

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-561.3DD

PIMars高動態XYZ向納米定位系統，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，直接驅動

 

P-562.3CD

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-562.3CL

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-563.3CD

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-563.3CL

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平