吳亞男
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德國PI直供小型線性平臺Q-521.240
Q-521.240
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為22毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
帶位置控制、分辨率高、價格實惠的最小線性平臺
Q-521
Q-Motion®小型線性平臺
? 寬僅21毫米、高僅10毫米
? 采用集成式增量編碼器實現直接位置測
量
? 編碼器分辨率高達1納米
? 最小位移高達2納米
? 帶接裝板或支架（作為選配件提供）的
多軸系統裝置
? 適用于高達10-
6百帕的真空環境，還可提供用于真空
達10-9百帕的版本
壓電慣性驅動器
壓電陶瓷慣性驅動器為空間節約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅動器，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的。慣
性驅動原理是基于由特殊驅動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹，移動轉子。由
于其慣性，轉子無法跟上促動器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達20千赫茲時，驅動直接作用在動輪
上，實現最大為10毫米/秒的速度。
直接測量原理
可提供帶非接觸式光學線性編碼器的版本。分辨率為4 納米或1 納米，取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點
開關。
真空和無磁性環境
所有Q-Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作，真空可達10-6 百帕。此外，適用于10-
9 百帕的超高真空變型也可供貨。可按需提供無磁性版本。
應用領域
微裝配, 光子, 光學對準, 顯微鏡, 高能束線設備, 半導體技術, 測試
訂購信息
Q-521.100
Q-Motion®
小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為12毫米，不帶用于開環操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.130
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.140
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.14U
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
Q-521.200
Q-Motion®
小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為22毫米，不帶用于開環操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 32 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.230
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為22毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.24U
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為22毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
Q-521.300
Q-Motion®
小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為32毫米，不帶用于開環操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 42 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.330
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為32毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.340
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為32毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.34U
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為32毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
德國PI直供小型線性平臺Q-521.240
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