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帶超聲波壓電電機和中央孔徑的平臺

PILine®超聲波壓電電機

作為PILine®超聲波壓電電機不可或缺的一部分，壓電陶瓷促動器上被施加預載，通過一個耦合元件抵住移動導向轉(zhuǎn)子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下，壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動。建立的進給為幾納米每循環(huán)；高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動器上相對于動輪施加預載可確保驅(qū)動器在靜止狀態(tài)下和關(guān)機時自鎖。

采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量

非接觸式光學編碼器以極高的精度直接在運動平臺上測量實際位置，因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現(xiàn)了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導向精度和負載能力。滾動主體架的受迫導向防止?jié)L柱軸承發(fā)生蠕變。

有效專利

美國專利號為6,765,335B2

歐洲專利號為1267425B1

應用領(lǐng)域

顯微操縱、自動化、生物科技、樣本操作、樣本定位、光學計量、真空應用達10^-6 百帕（可選）

訂購信息

U型651.03

旋轉(zhuǎn)臺采用低剖面和PILine®超聲波壓電馬達，旋轉(zhuǎn)范圍> 360°，速度540°/ s。 直接的位置

使用增量編碼器測量，9μrad分辨率，Sub-D連接器

U型651.04

旋轉(zhuǎn)臺采用低剖面和PILine®超聲波壓電馬達，旋轉(zhuǎn)范圍> 360°，速度540°/ s。 直接的位置

使用增量編碼器測量，4μrad分辨率，Sub-D連接器

備品

U型600.A01

用于PILine®的延長電纜，Sub-D 15針，1米

U型600.A03

用于PILine®的延長電纜，Sub-D 15針，3米

U型600.A05

用于PILine®的延長電纜，Sub-D 15針，5米