PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

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皮米級精度，高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

P-313

§ 用于AFM / SPM的高線性掃描儀

§ 分辨率高達20皮米，滯后小于1 納米

§ 閉環(huán)驅動概念帶來最高帶寬

§ 用于生物技術/納米技術的最高精度操 縱工具

§ 諧振頻率為4.0千赫茲（X、Y）、11 千 赫茲 （Z）

§ 行程1微米×1微米×0.6微米

應用領域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的設計，可實現(xiàn)快速、動 態(tài)和精密的運動。

訂購信息

P-313.30L

高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開環(huán)，LEMO連接器

P-313.30D

高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開環(huán)，Sub-D連接器



 

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