P-518 • P-528 • P-558 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺

高動態(tài)，帶大通光孔徑

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§ 三軸Z向和偏擺平臺 / 單軸Z向位移臺

§ 垂直偏擺角達200微米/2毫弧度，閉環(huán) （開環(huán)達240 微米/2.4 毫弧度）

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 通光孔徑為66 毫米 × 66 毫米

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

應用領(lǐng)域

·         計量

·         干涉測量

·         光子學/集成光學

·         平版印刷術(shù)

·         納米定位

·         掃描顯微鏡

·         樣本對準

·         微加工

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)位置測量實現(xiàn)納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動導向）。即使在動態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

P-558.ZCD

精密納米定位Z向位移臺，50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-558.ZCL

精密納米定位Z向位移臺，50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

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精密納米定位Z向位移臺，100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-518.ZCL

精密納米定位Z向位移臺，100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-528.ZCD

精密納米定位Z向位移臺，200微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-528.ZCL

精密納米定位Z向位移臺，200微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-558.TCD

精密納米定位器Z向位移臺和偏擺臺，50微米，0.6毫弧度，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-518.TCD

精密納米定位器Z向位移臺和偏擺臺，100微米，1.4毫弧度，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-528.TCD

精密納米定位器Z向位移臺和偏擺臺，200微米，2.4毫弧度，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

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