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高性能，緊湊型XY納米定位系統(tǒng)

掃描應(yīng)用的完美選擇或精密定位

行程達(dá)200 毫米 × 200 毫米

低外形

無塵室兼容

負(fù)載容量達(dá)147 牛

分辨率達(dá)1納米

產(chǎn)品概述

帶空氣軸承的高精度PIglide IS XY 平面掃描儀采用扁平設(shè)計，可用于替代堆疊XY位移平臺。高效、緊湊的設(shè)計安裝空間有限，能夠節(jié)省機(jī)械空間。

PIMag®磁力直接驅(qū)動

三相磁性直接驅(qū)動器在動力傳動系統(tǒng)中未使用機(jī)械零件，其可直接將驅(qū)動力傳輸至運(yùn)動平臺，且無摩擦。驅(qū)動器可實(shí)現(xiàn)高速度和高加速度。 無鐵芯電機(jī)非常適合對精度有超高要求的定位任務(wù)，因?yàn)槠洳粫c永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩(wěn)的運(yùn)行，同時，在高速狀態(tài)下也不會產(chǎn)生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅(qū)動力可任意設(shè)定。

利用來自領(lǐng)先制造商的數(shù)字控制器，操作可提供高級控制算法，以改善動態(tài)性和誤差補(bǔ)償。

附件和可選配件

編碼器

PIglide過濾器和空氣預(yù)處理器

多軸運(yùn)動控制器和直接驅(qū)動器

機(jī)器底座

花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide 定位系統(tǒng)特別適合高精度應(yīng)用，例如檢測系統(tǒng)、激光打標(biāo)、顯微鏡或掃描。

訂購信息

A-311.AA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，100毫米 × 100微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-311.AB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，100毫米 × 100微米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-311.BA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，150毫米 × 150微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-311.BB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，150毫米 × 150微米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-311.CA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，200毫米 × 200微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-311.CB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，200毫米 × 200微米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-311.DA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，50毫米 × 50微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-311.DB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，50毫米 × 50微米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏