用于濺射系統和離子源的直流電源–脈沖發生器
作為真空涂層系統工業電源的領先制造商之一，ADL 模擬和數字萊斯頓塞萊克特羅尼克有限公司為客戶提供復雜的流程的創新解決方案。
自 1992 年以來，ADL 一直在開發和生產全球全天候使用的電源。它們確保玻璃、箔材、工具、鏡片（眼鏡）、時尚珠寶、塑料（汽車大燈）、CD 和 DVD、平板屏幕、電子元件、半導體等的可靠涂層。
ADL 的直流濺射電源已開發用于工業生產工廠。這些設備的特點是壽命長、堅固耐用和易于使用。全自動弧形處理可保證最佳涂層效果，并防止操作錯誤。
ADL 能夠按照模塊化原理構建設備，將不同的模塊作為客戶特定的電源，從而最能適應客戶需求。當然，還有各種接口模塊可用，因此ADL電源可以輕松地集成到任何系統中。
主要產品
離子源電源
加速器
中和器
發射器
通訊模塊
脈沖發生器
單極脈沖發生器
濺射電源
直流電源
直流濺射電源
中頻雙極型脈沖發生器
主要型號
ADL GG03
ADL GIP10
ADL GG12
ADL Profibus 2.547
ADL GS 05 – GS 30
ADL GS 60 – GS 150
ADL GSW 100 – GSW 300
ADL GX 50 – GX 150
ADL HX 150 – HX 300
ADL SD 30
ADL SD 150
ADL SD 300
ADL SB 300
ADL GSW 100/500
ADL GSW 100/800
ADL GSW 150/400
ADL GSW 150/500
ADL GS 60/800
ADL GS 80/800
ADL GSW 200/1000
ADL GX 50/800
ADL GX 60/800
ADL HX 150/400
ADL HX 150/500
ADL HX 150/800
ADL HX 150/1000
ADL HX 200/800
ADL GP 10/800
ADL GP 15/800
ADL GP 20/800
ADL GP 30/800
ADL GP 30/1000
ADL GP 60/800
ADL GP 100/800
ADL GP 120/800
ADL GP 150/800
ADL RD 300
ADL GG 03
ADL GG 03.1
ADL GG 12
ADL GG 12.1
常用產品介紹
1.直流濺射電源GS 05 - GS 30
緊湊型設備已開發用于生產和實驗室設施中較小的磁子。由于操作簡單安全，電源可以非常靈活地使用。
弧形處理自動適應不同的過程參數，因此無需編程工作。這些設備設計用于安裝在 19" 組件中。
輸出功率0.5-3.0kW
空氣 1/2 19" 內置住房， 3R
可互換接口模塊
電壓、電流和電源的數字顯示屏
通過前面板手動操作
自動弧形處理
2.直流濺射電源GS 60–GS 150
GS 60 – GS 150 系列的氣冷直流電源有三種操作變種：主動前面板、被動前面板和狀態 LED。電源可在不限制切換時間的情況下全額定功率運行。
幾個模塊的并行操作是可能的。GS 60–GS 150系列，像所有ADL電源一樣，具有極快的自動弧線取消。設備的操作非常簡單和安全。
輸出功率 6.0 - 15kW
空氣
19" 內置住房， 3 美國
無潛力輸出
焦耳時尚
自動弧形處理
3.直流濺射電源GSW 100–GSW 300
可同時運行至240kW，可增加輸出功率。有了特殊的電路概念，"主奴隸布線"可以免除。即使在非空調客房，高效的水冷卻也可確保最大的可靠性。
這些設備可以通過活動前面板或界面手動操作。提供各種前面板和接口模塊。極快的弧形處理完全自動工作，即使在并行操作中也不需要外部同步。
輸出功率10-30kW
水冷卻
19"住房， 3 U
電磁閥控制
無潛力輸出
并行運行至240kW
自動弧形處理
4.直流濺射電源GX 50–GX 150
GX 濺射電源能夠自動擦除高達每秒 80，000 個弧。極端性能，加上小尺寸，是GX系列的突出標志。
這些設備可以全額定功率運行，不受切換時間的限制，也可以并行連接。
輸出功率5-15kW
水冷卻
1/2 19" 住房， 3U
無潛力輸出
焦耳時尚
自動弧形處理
5.直流濺射電源 HX 150 - HX 300
1/2 19"寬度和5U的極其緊湊的設計是專門為生產工廠開發的，其中將不配用控制柜。HX 具有安裝選項卡，可直接集成到任何安裝位置的系統中。
顯示屏是旋轉的，可以從設備中分離出來。即使在非空調客房，高效的水冷卻也可確保最大的可靠性。為了避免凝結，可以通過集成溫度控制連接外部電磁閥。
可同時運行至240kW，可增加輸出功率。特殊的電路概念允許主奴隸操作和并行控制通過界面組合或Provibus。極快的弧形處理完全自動工作，因此無需設置參數。
輸出功率 15kW 至 30kW
并行運行至240kW
水冷卻
電磁閥控制
帶灰塵顆粒分離器的住房通風
1/219" 住房， 5U
法蘭格緊固件
M8 女線起重機小眼
可拆卸旋轉顯示屏
自動弧形處理
6.離子源電源
對于離子源（考夫曼和ECR）的操作，提供各種特殊設備，也可以根據要求提供其他輸出電壓或服務。
所有設備均可選擇配備模擬接口或與 Profibus 連接。
7.脈沖發生器、選項和配件
PULSE 發電機 RD 300 與大多數 ADL 電源一起，按照共振開關原理工作。由于效率極高（30kW時為99.5%），該設備非常緊湊，只能產生最大150W的低耗電量。
現有系統可以很容易地進行改裝，因為發電機與直流電源并行直接連接到陰極。該設備的工作頻率為 2kHz。但是，使用外部信號發生器，頻率可在 0.2 到 3kHz 之間變化。幾個發電機可以通過控制線進行自動同步連接。
8.單極脈沖發生器 SD 30、SD 150 和 SD 300
脈沖發生器與ADL直流電源一起生成單極脈沖。這些設備的固定頻率為 20kHz。使用外部信號發生器，頻率變化范圍從 1kHz 到 40kHz 不等。發電機具有自動電弧抑制。
行程級別和中斷時間的參數會自動適應相應的過程。不需要用戶通常的編程。幾個發電機可以通過控制線進行同步連接。設備自動切換到外部同步。
輸出功率 3 千瓦，15 千瓦，30 千瓦
并行運行至240千瓦
自動弧形處理
無潛力輸出
自動同步
空氣
非常緊湊的設計
法蘭格緊固件
9.中頻和雙極脈沖發生器 SB 300
雙極脈沖發生器 SB 300 既可用作中頻發生器，以生成平衡交替電流，也可用于非對稱方脈沖的雙極脈沖器。通過特殊的功率商控制，雙磁子的目標壽命可以精確對稱。
兩種不同的目標材料也可以用不對稱的脈沖能力進行控制。Qotienten 控制器通過脈沖寬度調制 （PWM） 自動設置脈沖時間。該設備的固定頻率為 20kHz。發電機具有自動電弧抑制。
行程級別和中斷時間的參數會自動適應相應的過程。不需要用戶通常的編程！幾個發電機可以通過控制線進行同步連接。設備自動切換到外部同步。
輸出功率 30kW，交流電
主/奴隸或并行操作中的設備組合，最高可達 240kW
比率功率控制器
自動同步
水冷卻
非常緊湊的設計
無潛力輸出
模塊化系統允許 HX （DC） 與單極脈沖發生器 （SD） 或雙極脈沖發生器 （SB） 的組合
緊湊型 1/2 19" 設計
雙極脈沖發生器與PWM控制保證絕對對稱濺射！
卓越的超高速和全自動弧形管理
過程可重復性：優于 1-2%
技術優勢作為核心競爭力
ADL模擬和數字萊斯頓塞萊克特羅尼克有限公司開發獨立和復雜的技術，測試方法和生產方法的工業電源。達姆施塔特的生產基地擁有極高的垂直制造范圍和廣泛的質量管理，生產出"德國制造"的優質設備
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