高性能納米級定位平臺

掃描應用的完美選擇或精密定位

運動平臺的尺寸210 毫米×210 毫米

分辨率達1納米

無塵室兼容

行程50 毫米至750 毫米

產品概述

PIglide系列平臺配備伺服驅動器線性電機，電機配置帶預載的空氣軸承和集成線性編碼器。這類非接觸式零件的組合形成了一個無摩擦運動平臺，可提供最高的性能、質量和使用壽命。

高推動力線性電機可以在幾毫秒內將平臺驅動至最高速度，高承載能力軸承可支承重達60 公斤的有效載荷。該型號中的側面相對、主動預載空氣軸承設計可實現任意方向上的安裝。

應用領域

PIglide定位系統非常適用于高精度應用，諸如半導體或平板顯示器制造中的計量、光子學和精密掃描。

由于運動無摩擦，不會形成顆粒，PIglide平臺非常適用于無塵室應用。

附件和可選配件

編碼器

PIglide過濾器和空氣預處理器

單軸和多軸運動控制器

XY裝置和個性化配置

電纜軌道變型

用于垂直（Z）方向的配重選項

可提供定制版

花崗巖底座板和隔振系統

訂購信息

A-123.050A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，50毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.050B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，50毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.100A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，100毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.100B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，100毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.150A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，150毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.150B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，150毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.200A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，200毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.200B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，200毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.350A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，350毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.350B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，350毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.500A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，500毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.500B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，500毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.750A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，750毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏

A-123.750B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，750毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

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