PI V-817線性平臺系列工業(yè)精密
PI (Physik Instrumente)通過新的V-817高負(fù)載線性平臺系列擴(kuò)大了其產(chǎn)品組合。從而PI為半導(dǎo)體、電子和激光行業(yè)中高度動態(tài)和精密的加工、測試和檢驗任務(wù)的定位解決方案設(shè)定了一個性價比良好的新市場水準(zhǔn)。V-817系列適用于傳感器和相機(jī)定位、激光焊接、光學(xué)和觸覺測試程序以及晶圓加工和檢驗等應(yīng)用。

緊湊型XY壓電位移臺

德國PI XY位移平臺P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

德國PI XY位移平臺P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺：PI V-817線性平臺吳亞男行程范圍可變的高精度XY納米定位器

XY壓電撓性位移臺

德國PI XY位移平臺P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)：緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺：大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

P-733.2 XY壓電納米定位器：高精度XY光圈掃描儀

P-734 XY壓電掃描儀：具有最小跳動和清晰光圈的高動力系統(tǒng)

P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)：光圈清晰低剖面，經(jīng)濟(jì)高效的壓電掃描儀，PI V-817線性平臺吳亞男用于生物識別：CCD芯片可在兩個軸上動態(tài)移動，以提高像素分辨率

P-713 XY壓電掃描儀：具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)

P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：PI V-817線性平臺吳亞男快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡

2.德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。PI V-817線177性1858平3804臺它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為參考。可以實時地(取決于帶寬)主動補(bǔ)償與另一軸發(fā)生的不必要的運(yùn)動串?dāng)_(主動引導(dǎo))。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。

型號介紹：

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運(yùn)動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)：PI V-817線177性1858平3804臺緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺：高精度納米定位器，最多可容納3個軸

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

德國PI P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

德國PI P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡

緊湊型精密XYZ納米掃描儀

德國PI P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：PI V-817線177性1858平3804臺高動態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡

德國PI P-313 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：皮克計精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

 

3.德國PI 線性壓電撓性位移臺

PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計量，微觀過程，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。

帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺可用于最大1.5 mm的行程。

型號介紹：

壓電撓性線性平臺

德國PI P-630高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)：1軸大孔徑

德國PI P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺：動態(tài)穩(wěn)定

德國PI P-752高精度納米定位臺：高動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有極其精確德國PI的引導(dǎo)

德國PI P-750壓電納米定位系統(tǒng)：PI V-817線177性1858平3804臺具有直接計量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動納米定位系統(tǒng)

德國PI P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)：廉價，緊湊的線性定位系統(tǒng)

德國PI P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統(tǒng)

德國PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置

德國PI壓電撓性垂直平臺

德國PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置

德國PI S-303壓電移相器：高動態(tài)，納米級精密壓電移相器

德國PI P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑

德國PI P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器

德國PI P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器

特色定制

德國PI PI P-725KHDS

德國PI P-725KHDSPIFOC®高動態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率

德國PI 4.PI 微型六足動物

4，德國PI 微型六足動物

德國PI Q-Motion®壓電位移臺內(nèi)置了最小的6自由度運(yùn)動設(shè)備，也提供手掌大小的BLDC電機(jī)六足位移臺。

使用的運(yùn)動設(shè)計取決于應(yīng)用中單個軸上運(yùn)動的重要性。經(jīng)典的平行運(yùn)動六腳架設(shè)計可實現(xiàn)最佳的整體性能均勻性。當(dāng)需要相對較大的線性運(yùn)動時，最好采用薄型設(shè)計。

最好使用采用PI的專利PICMA®或PiezoWalk®驅(qū)動技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。

德國PI 微型六足動物H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：PI V-817線177性1858平3804臺快速，緊湊，高精度

德國PI 微型六足動物H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對準(zhǔn)的理想選擇

德國PI H-811.S2 6軸運(yùn)動六腳架：快速而緊湊的高動態(tài)應(yīng)用

德國PI H-810 6軸微型六腳架：最小空間內(nèi)的高精度

德國PI P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強(qiáng)磁場中也能進(jìn)行高精度定位

德國PI 5.PI 微型線性平臺

 

5，德國PI 微型線性平臺

微型階段對于在可用空間有限的定位任務(wù)中至關(guān)重要。諸如Q-motion®，PIline®和PiezoWalk®之類的壓電電機(jī)解決方案由于具有直接驅(qū)動原理，因此可實現(xiàn)最緊湊的平臺。

型號介紹：

德國PI帶有Q-Motion®，PILine®和PiezoWalk®驅(qū)動器的微型平臺

德國PI 微型線性平臺U-523PILine®線性平臺：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺

德國PI 微型線性平臺Q-521 Q?Motion®微型線性平臺：具有位置控制，高分辨率和價格合理的最小線性平臺

德國PI PI N-565 1200精度最高的N-565線性平臺：PI V-817線177性1858平3804臺具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動器

德國PI U-521PILine®線性平臺：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺

德國PI Q-545 Q Motion®精密線性平臺：壓電馬達(dá)帶來的高力和小設(shè)計，帶有PIMag®VC VoiceCoil和三相直線電機(jī)，步進(jìn)，直流和無刷直流電機(jī)的微型平臺

德國PI M-110•M-111•M-112緊湊型線性平臺：XY(Z)組合，具有各種驅(qū)動器和行程范圍

德國PI L-306緊湊型精密Z工作臺：緊湊設(shè)計，多軸組合

德國PI L-505緊湊型線性平臺：帶直流或步進(jìn)電機(jī)

德國PI V-408PIMag®線性平臺：便宜，帶直線電機(jī)

德國PI V-508PIMag®精密線性平臺：多種選項可適應(yīng)需求

德國PI L-402微型線性平臺：帶直流或步進(jìn)電機(jī)

德國PI A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承：高性能，無塵室兼容，可定制

德國PI V-522•V-524•V-528高性能PIMag®線性平臺：帶直接位置測量的音圈直接驅(qū)動

德國PI M-122.2DD1微翻譯平臺：具有直接位置測量功能的緊湊型線性平臺

德國PI M-105微翻譯平臺：精密交叉滾子導(dǎo)軌，PiezoMike選件，XY(Z)組合

德國PI MTS-65微型線性平臺：工業(yè)用途的堅固設(shè)計

德國PI L-406緊湊型線性平臺：對于10公斤的負(fù)載

6.德國PI 微型旋轉(zhuǎn)臺

帶有壓電馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)平臺使尺寸特別緊湊。

顯微鏡的許多應(yīng)用要求自由光通過。這些緊湊的旋轉(zhuǎn)平臺還可以用于光學(xué)應(yīng)用中，在這些應(yīng)用中，它們可以可靠地定位濾光片，并具有出色的可重復(fù)性。

旋轉(zhuǎn)平臺可以安裝在沒有適配器的線性平臺上，并且可以靈活組合多軸定位系統(tǒng)。

德國PI 帶有Q-Motion和PILine®驅(qū)動器的微型旋轉(zhuǎn)臺

德國PI U-622PILine®旋轉(zhuǎn)平臺：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺 ，PI V-817線177性1858平3804臺具有薄型設(shè)計的U-651旋轉(zhuǎn)平臺，快速PILine®直接驅(qū)動和中央開口

德國PI U-624PILine®旋轉(zhuǎn)平臺：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺

德國PI Q-632 Q Motion®旋轉(zhuǎn)臺：緊湊型壓電電機(jī)：轉(zhuǎn)臺直徑30 mm，帶有步進(jìn)，直流和無刷直流(BLDC)電機(jī)的微型旋轉(zhuǎn)臺

德國PI 微型旋轉(zhuǎn)臺V-611PIMag®旋轉(zhuǎn)平臺：高扭矩的扁平設(shè)計，最大承重2 kg

德國PI RS-40緊湊型旋轉(zhuǎn)臺：精確定位

德國PI 微型旋轉(zhuǎn)臺V-610緊湊型PIMag®旋轉(zhuǎn)臺：緊湊，適用于M-110的多軸組合

德國PI DT-80緊湊型旋轉(zhuǎn)臺：大光圈

德國PI DT-34微型旋轉(zhuǎn)臺：尺寸緊湊，帶直流或步進(jìn)電機(jī)

7.德國PI 空氣軸承和位移臺

空氣軸承臺用于需要無振動運(yùn)動，速度必須高度恒定且要求最佳角度重復(fù)性的場合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和間隙效應(yīng)。PIglide線性，旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件，可以集成和電動化用于OEM，工業(yè)和研究市場。

型號介紹：

帶空氣軸承的線性平臺

德國PI 空氣軸承和位移臺A-131 PIglide VC音圈線性平臺，帶空氣軸承：高性能微型納米定位系統(tǒng)

德國PI 空氣軸承和位移臺A-110 PIglide LC線性平臺，帶空氣軸承：廉價的高性能納米定位臺

德國PI 空氣軸承和位移臺A-141 PIglide MB微型線性平臺，PI V-817線177性1858平3804臺帶空氣軸承：高性能，無塵室兼容，可定制

德國PI A-123 PIglide AT3線性平臺，帶空氣軸承：高性能納米定位臺

德國PI A-121 PIglide AT1線性平臺，帶空氣軸承：高性能小尺寸納米定位臺

帶空氣軸承的XY位移臺

德國PI A-351帶直線電機(jī)的MGS龍門系統(tǒng)：堅固的緊湊型設(shè)計，帶循環(huán)滾珠軸承導(dǎo)軌，可實現(xiàn)高負(fù)載能力。

德國PI A-341 PIglide HGS混合龍門系統(tǒng)：帶有空氣軸承和循環(huán)球軸承導(dǎo)軌的混合導(dǎo)軌設(shè)計，可實現(xiàn)高精度，薄型化。

德國PI A-322 PIglide HS平面掃描儀，帶空氣軸承：XY定位系統(tǒng)，分辨率為1 nm

德國PI A-311 PIglide IS平面掃描儀，帶空氣軸承：高性能，緊湊型XY納米定位系統(tǒng)

空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺

德國PI A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉(zhuǎn)平臺：無摩擦，電動

德國PI A-62x PIglide RM旋轉(zhuǎn)平臺，帶空氣軸承：無摩擦，是分度，定位，掃描，測量技術(shù)的理想選擇

德國PI PIglide運(yùn)動控制器

德國PI A-81x PIglide運(yùn)動控制器：用于1、2或4個軸

德國PI A-60x PIglide RT旋轉(zhuǎn)空氣軸承模塊：無摩擦，非電動

德國PI A-10x PIglide RB線性空氣軸承模塊：無摩擦，非常適合定位，掃描和計量

德國PI A-65x PIglide HB：半球形空氣軸承：PI V-817線177性1858平3804臺無摩擦，是三軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的理想選擇

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PI V-817線性平臺系列工業(yè)精密

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