德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀
PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環。
零游隙撓性導軌，導向精度高
撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內工作。
平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為參考。可以實時地（取決于帶寬）主動補償與另一軸發生的不必要的運動串擾（主動引導）。即使在動態操作中，也可以在納米范圍內實現高跟蹤精度。
訂購信息
H-850.G2
精密六足微型機器人，直流減速電機，旋轉編碼器，負載能力50 kg，速度8 mm / s，包括3 m電纜
H-850.G2A
精密六足微型機器人，無刷直流齒輪電動機，絕對編碼器，50 kg負載能力，8 mm / s速度，包括3
米電纜
H-850.G2V
精密的六足微型機器人，直流減速電機，旋轉編碼器，25 kg的負載能力，2.5 mm / s的速度，與真空兼容
10-6
hPa，包括在空氣側設置的3 m電纜和在真空側設置的2 m電纜
H-850.H2
精密六足微型機器人，直流減速電機，旋轉編碼器，負載能力250 kg，速度0.5 mm / s，包括3 m電纜
H-850.H2A
精密六足微型機器人，無刷直流齒輪電動機，絕對編碼器，250公斤的負載能力，0.5毫米/秒的速度，包括
3 m電纜
H-850.H2V
精密六足微型機器人，直流減速電機，旋轉編碼器，80公斤的負載能力，0.15毫米/秒的速度，與真空兼容
至10-6
hPa，包括在空氣側設置的3 m電纜和在真空側設置的2 m電纜
PI H-850.H2A
PI H-850.G2A
PI H-810.D1
PI H-810.D2
PI H-810.D11
PI H-810.D2 + C-887.5xx
PI H-810.D12
PI H-810.D2 + C-887.5xx
PI H-820.D1
PI H-820.D2
PI H-820.D11
PI H-820.D2 + C-887.5xx
PI H-820.D12
PI H-820.D2 + C-887.5xx
PI H-820.D13
PI Q-545.240
PI N-565.260
PI E-873.1AT
PI P-753.1CD
PI P-753.1CD
PI E-505.00
PI M-235.5DG
PI M-404.4PD
PI C-863.12
PI P-620.1CD
PI C-663.12
PI C-887.52
型號介紹：
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯運動壓電系統，用于納米定位和光纖對準
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統：緊湊的多軸壓電系統，用于納米定位和光纖對準
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺：高精度納米定位器，最多可容納3個軸
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動態納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能
用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統
德國PI P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡
德國PI P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統：快速XY（Z）平臺用于高動態顯微鏡
緊湊型精密XYZ納米掃描儀
德國PI P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：高動態納米定位系統，用于掃描探針顯微鏡
德國PI P-313 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：皮克計精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡
德國PI 線性壓電撓性位移臺
PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導精度與最小的串擾相結合。這使得它們特別適合于計量，微觀過程，干涉測量或半導體芯片生產檢查系統中的參考應用。
帶有PICMA®壓電執行器驅動器和撓性導軌的線性壓電平臺可用于最大1.5 mm的行程。
型號介紹：
壓電撓性線性平臺
德國PI P-630高動態壓電納米定位系統：1軸大孔徑
德國PI P-753 LISA線性執行器和平臺：動態穩定
德國PI P-752高精度納米定位臺：高動態和穩定的壓電掃描儀，具有極其精確德國PI的引導
德國PI P-750壓電納米定位系統：具有直接計量功能的高負載壓電驅動納米定位系統
德國PI P-611.1線性壓電定位系統：廉價，緊湊的線性定位系統
德國PI P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統
德國PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置
德國PI壓電撓性垂直平臺
德國PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置
德國PI S-303壓電移相器：高動態，納米級精密壓電移相器
德國PI P-733.Z高動態Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑
德國PI P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器
德國PI P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器
特色定制
德國PI PI P-725KHDS
德國PI P-725KHDSPIFOC®高動態物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率
在過去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發展成為納米定位技術的領先制造商。創業行為的關鍵要素和動機始終保持不變：為客戶找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺以其產品質量而聞名，多年來一直是全球精密定位技術市場的領導者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內部的團隊精神，其基礎是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。
PI（Physik Instrumente）位移平臺不僅針對線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合開發和生產各種定位平臺和執行器。PI還使這些解決方案適應客戶特定的應用，或提供用于運動和定位的成品子系統。
該控件是重要的系統組件，也由PI提供。這不僅提供了復雜的控制概念，還為應用程序環境提供了硬件和軟件接口。
德國PI 微型六足動物線性平臺產品介紹
德國PI Q-Motion®壓電位移臺內置了最小的6自由度運動設備，也提供手掌大小的BLDC電機六足位移臺。
使用的運動設計取決于應用中單個軸上運動的重要性。經典的平行運動六腳架設計可實現最佳的整體性能均勻性。當需要相對較大的線性運動時，最好采用薄型設計。
最好使用采用PI的專利PICMA®或PiezoWalk®驅動技術的六腳架提供超高真空和非磁性環境。
德國PI 微型六足動物H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：快速，緊湊，高精度
德國PI 微型六足動物H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對準的理想選擇
德國PI H-811.S2 6軸運動六腳架：快速而緊湊的高動態應用
德國PI H-810 6軸微型六腳架：最小空間內的高精度
德國PI P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強磁場中也能進行高精度定位
德國PI 5.PI 微型線性平臺
德國PI 線性壓電撓性位移臺
訂購信息
N-565.160
精密線性定位平臺，行程為13毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 80 ×
20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器
N-565.260
精密線性定位平臺，行程為26毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 110 ×
20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器
N-565.360
精密線性定位平臺，行程為52毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 160 ×
20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器
PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導精度與最小的串擾相結合。這使得它們特別適合于計量，微觀過程，干涉測量或半導體芯片生產檢查系統中的參考應用。
帶有PICMA®壓電執行器驅動器和撓性導軌的線性壓電平臺可用于最大1.5 mm的行程。
型號介紹：
壓電撓性線性平臺
德國PI P-630高動態壓電納米定位系統：1軸大孔徑
德國PI P-753 LISA線性執行器和平臺：動態穩定
德國PI P-752高精度納米定位臺：高動態和穩定的壓電掃描儀，具有極其精確德國PI的引導
德國PI P-750壓電納米定位系統：具有直接計量功能的高負載壓電驅動納米定位系統
德國PI P-611.1線性壓電定位系統：廉價，緊湊的線性定位系統
德國PI P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統
德國PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置
德國PI壓電撓性垂直平臺
德國PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置
德國PI S-303壓電移相器：高動態，納米級精密壓電移相器
德國PI P-733.Z高動態Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑
德國PI P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器
德國PI P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器
特色定制
德國PI PI P-725KHDS
德國PI P-725KHDSPIFOC®高動態物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率
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