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長行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

應(yīng)用領(lǐng)域?工業(yè)級精度定位

?半導(dǎo)體技術(shù)

?半導(dǎo)體測試

?晶圓檢測

?平版印刷術(shù)

?納米壓印

?納米測量

?強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進驅(qū)動實現(xiàn)納米精度和大進給力

數(shù)個壓電陶瓷促動器在

PiezoWalk步進驅(qū)動中執(zhí)行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分

辨率進行最小步進和推進運動。

增量

編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)

編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅(qū)動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

規(guī)格

N-216.101 / N

-216.1A1N

-216.201 / N

-216.2A1

公差N-216NEXLINE

線性促動器

?力量生成達600牛

?保持力達800牛

?行程20毫米

?帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器5納米

訂購信息

N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，300牛，開環(huán)

N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，300牛，線性編碼器，5納米分辨率

N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，600牛，開環(huán)

N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，600牛，線性編碼器，5納米分辨率

更多型號如下：

Physik Instrumente  P-845.60

Physik Instrumente  E-501.00

Physik Instrumente  E-505.00

PI E-509.S1

PI M-235.5DG

PI M-406.4DG

PI C-863.12

PI M-403.4PD

PI M-404.4PD

PI M-521.DD1

PI P-620.1CD

PI L-611.9ASD

PI (Physik Instrumente)線性促動器原廠供貨