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德國PI（Physik Instrumente）精密移臺 N-765 Z向位

       德國PI公司是精密運動和定位領域的全球解決供應商。

PI不僅開發和生產各種定位平臺和執行器，用于線性、旋轉和垂直運動或不同軸的組合。PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統。

產品系列：

納米定位壓電柔性鉸鏈平臺

微型平臺

線性平臺

線性促動器

旋轉臺

XY位移平臺

六足位移臺

快速多通道光子學對準系統

運動控制軟件

應用范圍：

汽車、科學設備、半導體技術、顯微鏡、硅光子、醫療技術、材料研究、機械工程、自動化、高能束線設備、增材制造

德國PI（Physik Instrumente）精密移臺 N-765 Z向位

--------具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進驅動器

1.      采用PIOne增量編碼器實現直接測量，分辨率為0.5納米

2.      最小位移達1納米

3.      行程為6.5毫米

4.      負載能力達25牛

5.      可以直接安裝在N-565線性定位器上

NEXACT®參考級線性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅動器的線性定位器可實現較長行程范圍內的納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承，可實現最高精度。緊湊、扁平的設計使定位器能輕松實現機械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術優勢結合在一起。PiezoWalk®步進驅動器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據其驅動原理，其還能實現理論上無限的行程。不同于其他壓電機動化驅動器原理，PiezoWalk®步進驅動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個動輪步進。前饋時，促動器被從動輪處物理提升，幾乎不會造成任何磨損。在促動器上相對于動輪施加預載可確保步進驅動器自鎖。因此，步進驅動器靜止狀態下將保持位置，關機時可實現機械穩定（無伺服抖動）。靜止狀態自鎖，無能量消耗，無熱量產生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發，在對測量數據進行相應處理后，可實現遠低于1納米的位置分辨率。光學非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運動平臺上進行實際位置測量，因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導向精度和負載能力。滾動主體架的受迫導向防止滾柱軸承發生蠕變。

應用領域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩定性光學或機械部件、半導體行業中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內的應用、真空或無磁性環境中的應用。

德國PI（Physik Instrumente）精密移臺 N-765 Z向位

規格參數

主動軸：Z

行程：6.5毫米

系統分辨率: 0.5納米

集成傳感器: PIOne線性編碼器：增量，光學，直 接測量

傳感器分辨率: 0.5納米

最小位移:1納米

速度，閉環:2.5毫米/秒

單向重復精度:6納米

雙向重復性:7納米

Z向運動時X向上的線性串擾:1.8微米

Z向運動時Y向上的線性串擾:2微米

Z向運動時θX向上的轉動串擾:25微弧度

Z向運動時θY向上的轉動串擾:41微弧度

Z向運動時θZ向上的轉動串擾:34微弧度

最大負載容量:25牛

電機類型: NEXACT壓電陶瓷步進驅動器

驅動力:20牛

保持力（被動）:25牛

工作電壓:-10到45伏

工作溫度范圍: 10至50 °C

質量: 920克

材料: 鋁，陽極氧化致黑

電纜長度:3米

連接器: HD Sub-D 15針（公頭）

傳感器連接器: Sub-D 15（母頭）

推薦電控: E-861.1A1

訂購信息

N-765·060 精密Z向位移臺，行程為6.5毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，

推/拉力為25牛，尺寸為65 X 110x56毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器.