德國Physik Instrumente（PI）線性執行器
&&適用于真空的L-220 V6高分辨率線性執行器
適用于高循環數
適用于真空的L-220 V6高分辨率線性執行器
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適用于高達10-6 hPa的真空
力至125 N
26毫米（1英寸）行程范圍
步進電機
參考級直線驅動器
結合了高精度，高作用力和高動態性。具有齒輪比的高性能，低振動的2相步進電機即使在沒有位置控制的情況下也可以進行精確定位。
減少放氣，特別是在真空環境下使用
最顯著的是，為了潤滑導向裝置和驅動螺桿，使用了排氣量極低的材料。因此，烘烤溫度可達到80°C。通過對PI V6真空等級的這種和其他修改，該定位器的使用時間可達10 -6 hPa。
優質組件
滾珠絲杠，送紙順暢。非旋轉尖端可確保均勻運動，從而防止在接觸點出現擺動，扭矩和磨損。含稅 平面和球形尖端可消除耦合力。非接觸式限位開關可保護機械性能。方向感應參考開關支持自動化應用。
應用領域
真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。
&&A-68x PIglide RLA旋轉平臺，帶空氣軸承，大孔徑
無摩擦，電動
A-68x PIglide RLA旋轉平臺，帶空氣軸承，大孔徑
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直徑365毫米的運動平臺，直徑260毫米的光圈
低調
偏心和平整度<300 nm
產品總覽
PIglide RLA系列的直接驅動平面旋轉平臺設計為具有的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度，平坦度和擺動性能。
絕對編碼器（可選）
絕對值編碼器提供明確的位置信息，可立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作期間的效率和安全性。
應用領域
斷層掃描，束線系統，晶圓計量，晶圓檢查，測量技術，檢查系統，校準，掃描。
由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。
三相轉矩電機
無刷
低齒槽轉矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運動控制器和伺服驅動器
多軸/自定義設置
花崗巖制底板和減振系統
客服熱線：15538055081
