規(guī)格 M-105.10*

M-105.1P*

M-106.10*

單位

公差

行程

18

18

5

毫米

壓電陶瓷精確行程范圍

–

30

–

微米

最小位移（壓電陶瓷驅(qū)動器）

–

0.01

–

微米

最小位移（千分絲杠）**

1

1

0.1

微米

空回

2

2

2

微米

直線度

2

2

2

微米

平面度

2

2

2

微米

負(fù)載容量

100

100

100

牛

最大

推拉力

20 / 4

20 / 4

20 / 4

牛

最大

側(cè)力

25

25

25

牛

最大

驅(qū)動器

M-626.00

P-854.00

M-653.00

絲杠螺距（粗/精）

0.5 / –

0.5 / –

0.4 / 0.02

毫米/圈

質(zhì)量

0.32

0.38

0.33

千克

外殼材料

St

St

St

推薦壓電式驅(qū)動器

–

E-610，E-500系統(tǒng)

–