一、產品概述

單極脈沖發生器用于電弧臨界和部分反應過程高質量和可復制的涂層

直流電源（HX、GX / GS）可通過接口X4P與單極脈沖發生器（SD）組合。因此，涂布設備可以使用直流或單極脈沖非常靈活地運行。在“主/從”或并聯作中，多個電源的同步功率可達 240 kW。脈沖發生器的緊湊 1/2 19“ 設計使直接安裝在真空室中成為可能！與所有 ADL 電源一樣，脈沖系統無需維護，極少發生故障，并且后續成本極低，性價比競爭力。

二、單極脈沖發生器應用

直流+單極脈沖Generators_012022的組合 （440.03 KB）

ADL 單極脈沖系統是部分氧化過程濺射的選擇。單極脈沖與金屬靶材部分反應或與陶瓷靶材呈亞化學計量，通過極低的電弧能量，有助于避免室壁或陽極的鈍化增加，從而有助于涂層過程的穩定。

直流和單極脈沖發生器的組合用于生產 OLED，或用于大平面屏幕或特殊裝飾和硬涂層的 LCD。

三、產品特性

具有低導電目標的廣泛濺射應用

對半氧化靶標（例如 TiOx、NbOx）具有出色的過程控制能力

對 AZO 等電弧關鍵靶材進行穩定加工

單極全反應涂層工藝，例如 SiO2四3O4人工智能2O3

與直流相比，涂層形貌得到改善

四、產品介紹

單極脈沖發生器 SD 30 - SD 300

高達 30 kW

與 ADL 直流電源結合使用，脈沖發生器可產生單極脈沖。脈沖發生器以 20 kHz 的固定頻率工作。因此，使用外部信號發生器，該頻率可以在 1 kHz 到 40 kHz 之間變化。脈沖發生器配備了自動電弧抑制功能。跳閘水平和休息時間的參數會根據特定過程自動調整。完全不需要用戶編程。為了實現自動同步，可以通過控制電纜連接多個發電機。在這種情況下，脈沖發生器會自動切換到外部同步。

性能參數：

輸出功率 3 kW、15 kW、

30 kW

并聯運行，功率高達 240 kW

自動電弧處理

風冷

緊湊型設計，1/2 19“ - 3

浮動輸出